高纯气体对不同种类的气体有不同的纯度指标。例如，对于氮气、氢
高纯气体对不同种类的气体有不同的纯度指标。例如，对于氮气、氢气、氩气和氦气，通常指纯度等于或高于99.999%的高纯气体;对于氧气，纯度为99.99%，称为高纯氧气;对于碳氢化合物，纯度达到99.99%的可以认为是高纯气体。
高纯气体具有广泛的应用。在半导体工业中，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。
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